SERVICE

維修服務 Repair Service

  • 我們提供 Huttinger 電源供應器全系列維修服務,以及 AE、MKS、ENI…等各廠電漿電源供應器(Plasma power supply)維修服務!
  • 各種品牌真空 Pump、控制器 Control:如 Leybold, Edwards, Osaka…等
  • 其他:如真空系統測漏服務、Gauge 維修、測漏儀維修…等

真空零組件

Vacuum Analysis Instruments

  • 各種品牌真空Pump:如Leybold, Edwards, Osaka等
  • 各種元件:中心圈 Center ring、管夾 Clamp、彎管 Bellow、O型環 Oring、閥門 Valve等
  • 其他:如Feedthrough

真空分析儀器及氦氣測漏儀

Vacuum Analysis Instruments

  • Inficon 品牌:真空計 Vacuum Gauge、氣體分析儀 RGA、質譜儀 Mass Spectrometers等
  • 膜厚量測

Leak Detectors:Inficon 氦氣測漏儀

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